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今日浅看复合式分子泵的结构特点

       复合式分子泵用来获得高真空和超高真空,其广泛应用于高能加速器、可控热核反应装置、等离子体物理空间研究、表面物理和分析仪器、半导体和光学元器件制造、平板显示、太阳能电池、真空镀膜、真空冶炼等涉及真空技术的电子、冶金、化工、科研等众多领域。
  复合式分子泵的结构特点:
  复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。
  在复合式分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。
  随着复合式分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。
  复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。

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